歐姆龍開發MEMS壓力傳感器

實現世界*水平高精度及低電流消耗

    歐姆龍株式會社研發了一款新型“壓力傳感器”（※１），該傳感器能夠準確檢測出50cm高度范圍內的氣壓變化。壓力傳感器應用了歐姆龍核心技術之一的MEMS技術，實現了世界*水平的高精度和低電流消耗，將于2013年1月開始發售。

    該壓力傳感器，實現了CMOS回路與MEMS傳感器的工藝整合，實現了長3.8mm×寬3.8mm、厚0.92mm的小型封裝，更易于應用在等小型設備中。

    適用于智能手機或運動計量器（※２）等機器的電池驅動部件，有利于延長電池的壽命。將該傳感器應用于運動計量器上，可以測算出上下樓梯等存在高度差的運動形式數據，解決一直以來的難題。而應用于汽車導航系統上，可以確保在立體停車場導航的度以及識別一般道路和高架路。另外，由于能測定感知房門開啟或窗戶破碎等情況下產生的氣壓變化，也可應用于安保領域。

    此外，CMOS?MEMS一體化晶片也可銷售，旨在滿足與其他傳感器安裝在同一主板上等需求。

    今后，歐姆龍將憑借*的MEMS技術持續為社會做貢獻。

    本產品將于7月11日（周三）至7月15日（周五）在東京展覽中心舉辦的“第23屆微機械/MEMS展”上展出。

    商品詳情請登陸了解（http://www.omron.co.jp/ecb/index.html）。

（※１）壓力傳感器，指以真空為0基準的壓力檢測傳感器。

（※２）有別于普通的計步器，不僅可計量步數，也用于計量中強度、低強度運動量及生活中的運動量（使用于掃除機、搬運輕量物品、烹飪等）的測量儀器。

■特點

１．小型封裝：長3.8mm 寬3.8mm 高0.92mm。

２．小型芯片：CMOS回路與MEMS傳感器一體化，長1.9 mm、寬1.9 mm、厚0.5mm。

３．300～1100hPa的廣泛測量范圍

４．相對壓力精度達到相當于約50cm高度差所造成的氣壓變化6pa。

５．0.5~9.5uA的低電流消耗有利于延長電池壽命。（※３）

６．內含溫度傳感器，能夠輔助修正因傳感器周圍溫度變化所造成的氣壓變化。

７．采用I2C輸出方式，可串聯通信。

 （※３）消耗電流依賴于測定條件及動作模式。
 

■技術解說

1．檢測原理　
本公司的MEMS壓力傳感器采用了針對血壓計中壓力傳感器研發的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式，是使用了通過加載在電阻元件上的力度變化所產生的電阻變化即壓電效應，通過這一原理將壓力轉化為電流信號。
并且，為了測定大氣壓力變化，壓力傳感器采用MEMS接合技術，將傳感器芯片的內部進行真空密封。因此，能夠感知與真空狀態相比較大氣壓力的數值，也就是壓力值。

2．技術特長

該傳感器，將本公司長年研發的各種技術功能集中在一個芯片中，包括半導體回路設計技術、CMOS工藝技術、MEMS技術、壓力傳感器、模擬增幅回路、數字處理回路、不揮發性存儲等。因此，實現了芯片的小型化、高機能化、耐噪性能的提升。
此外，該傳感器使用MEMS接合技術，可擴大傳感器芯片內部的真空室容量，將傳感器的輸入動態范圍zui大化。從而實現高精度。

3．測定結果

結果能夠達到50cm的判別。

■ 傳感器外觀